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第48回 レーザ熱加工研究会論文集

1.フェムト秒レーザ応用(1)

* フェムト秒レーザーの加工システムへの展開
* Fabrication of double cladding structure in optical multimode fibers using plasma channeling excited by a high-intensity femtosecond laser
* フェムト秒レーザーアブレーションによるZnO薄膜の製作
* 超短パルスレーザ照射による半導体材料の溶融・蒸発現象の分子動力学シミュレーション

2.特別講演

* 集光フェムト秒レーザーによる三次元マイクロファブリケーション

3.フェムト秒レーザ応用(2)

* 位相シフトを与えたフェムト秒レーザー光による加熱Siアブレーション
* 超短パルスレーザによるクロム薄膜のアブレーション加工
* 有機液体のフェムト秒レーザーアブレーション 時間分解測定による機構解明

4.エキシマレーザ応用

* F2KrFエキシマレーザー多重波長励起プロセシング
* エキシマレーザを利用したシリコンウエハ表面のクリーニング

5.固体レーザおよび非線形結晶

* SHG-YAGレーザとその応用
* 半導体レーザ励起高効率グリーン、 UVレーザ
* 四ほう酸リチウム単結晶とその非線形特性
* 紫外線発生用新ボレート結晶の開発

6.特別講演

* 近接場光の応用による高密度光記録

7.高密度記録

* 全固体266nmレーザーを用いた高密度光ディスク・マスタリング

8.固体レーザ応用

* Nd:YAGレーザーの第5次高調波を用いた反ストークス誘導ラマン散乱による157nm光の発生
* 5軸制御レーザーマイクロ加工法による微少機械の試作
* プリント基板のレーザ穴あけプロセスとインプロセスモニタリングによる品質評価

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